e square

優位点

1. 高速処理が可能。
2. フッ素樹脂表面やポリカーボネートなどの表面改質に有効。
3. ロール to ロールでのフィルム処理。
4. 表面粗化。

欠点

1. ワークが金属等導電物や金属酸化物の場合、高圧放電空間内での処理のため、アークやストリーマ発生により処理表面を溶かす場合がある。フィルムの場合はピンホールを生ずる場合がある。
2. 放電空間からのイオンアタックがあり、表面への凹凸、荒れを生ずる。
3. 処理温度が高いため、処理条件によっては水冷ジャケットローラーが必要になる。
4. 処理後ワークへの帯電があるため、ワークへの集塵対策が必要。
5. 高電圧空間中での処理であるため、ワークが金属等の場合必ずアース等の接地が必要で、接地が不十分な場合感電の危険がある。
6. 条件によってプラズマがグロー化と安定するまでの時間が必要である為、その間のワークが無駄になる。
7. 放電電極内イオンアタック等（セラミックス・金属）からの発塵によって電極を定期的に交換が必要である。